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多功能 光譜共聚焦3D輪廓儀
產品特點
案例場景
產品規格
光譜共聚焦3D輪廓儀
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? 適用于透明/高反光 等復雜樣品表面的掃描成像
? 最大掃描重復精度可達 50nm
? 2D平面尺寸，3D輪廓高低臺階，3D平面度面型測量，表面粗糙度? 測試，3D-CAD對比功能，線輪廓度，面輪廓度等
? 靈活測試方案，可以做產線自動化訂制；實現在線全檢。
? 最大拼接視野 可達300*300mm
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? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?透明玻璃/高反光金屬? 手機混合類材料3D檢測/測量
? ?平面度/平整度測試/? BGA植絨球
大視野下 納米級 粗糙度表面分析
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